IDAJ

Case Study実績・お客様事例

粒子+液膜モデルを使用したウェハ洗浄解析

分野1:
熱流体解析

使用ソフトウェア

iconCFD

概要

この解析の場合、既存の検証によりVOF法を用いた計算よりも粒子+液膜モデルを用いた計算を行ったほうが計算時間・精度ともに良好な結果が得られることがわかっていました。そこで、粒子+液膜モデルをiconCFDに実装し、解析を実施しています。

粒子+液膜モデルを使用したウェハ洗浄解析
ユーザーサポートセンター 無料で資料請求