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【今日のANSYS】ミッションは「試作なし」(東京エレクトロン様)

皆さま、こんにちは。

IDAJのANSYSプロダクト担当の河口です。

CAEやCFDが世の中の役に立っている情報や興味を引く適用事例などの情報を、ANSYS, Inc.及びアンシス・ジャパン株式会社発行の情報誌「ADVANTAGE」の記事を中心にご紹介させていただきたいと思います。

 

今回は、東京エレクトロン株式会社 吉備 和雄様へのインタビュー記事をご紹介します。(※)

同社は、半導体製造装置メーカーとして、国内トップ、世界第三位のシェアを持っています。長年のANSYS Fluentユーザーである同社は、製造装置の中で起きている現象の解明や予測にシミュレーションを活用されています。吉備様は、シミュレーションソフトウェアを正しく効果的に使ってもらえるように展開する役割を担う、技術開発センター シミュレーション解析支援グループの主任技師として、ANSYS Fluentを利用する理由やシミュレーションソフトウェアで目指すビジョンについて、次のように述べていらっしゃいます。

 

半導体装置の製造プロセスの「前工程」における、十数ナノメートルスケールまでの微細な加工は、工具で削ったりするのではなく、様々な物理的・化学的反応を組みあわせて行います。こうした反応現象を作り出すには「流れ」の解明が必要となるため、熱流体解析ツールの導入を検討し、検証の結果、いくつかのツールの中からANSYS Fluentのソルバーを選択しました。シミュレーションソフトウェアとして一番重要なのは、ソルバーの信頼性です。そしてもう一つ大きいのはサービスサポート。また、GUIの改良や環境インフラへの対応、クラウドサービスなどへの展開もされていることで、ながくお付き合いをさせていただいています。

設計の上流から下流までシミュレーションソフトウェアを活用していますが、いま、経営陣からはもっと難しい「試作を作らない」というミッションを与えられています。試作するには莫大なコストと時間がかかります。そのため、試作を作らずにすめば非常に大きな経済的、時間的なメリットが得られることは間違いありません。

 

(※)アンシス・ジャパン株式会社様の顧客事例を参照しました。

詳細は下記までお気軽にお問い合わせください。

 

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株式会社 IDAJ 営業部
E-mail:info@idaj.co.jp
TEL: 045-683-1990