CVDエッチングプロセス最適条件の探索
- 分野1:
- 化学反応解析
- 分野2:
- 最適設計
使用ソフトウェア
modeFRONTIER、CHEMKIN概要
詳細化学反応解析プログラムCHEMKINと連成した、エッチングプロセス最適条件の探索事例です。問題設定としては、原料ガス供給量SCCMと酸素濃度を変化させ、出口C2F6濃度とCF4濃度がそれぞれ最小となり、エッチング速度最大(膜生成速度最小)となる操作点を探索しました。計算の結果、C2F6濃度とエッチング速度がトレードオフとなることが明確になり、その後modeFRONTIERの多次元表示チャートから選好解を抽出することに成功しました。
解析種別:最適化、詳細化学反応解析プログラム
課題等:ガス、エッチング速度、酸素濃度、CHEMKIN
