粒子+液膜モデルを使用したウェハ洗浄解析
- 分野1:
- 熱流体解析
使用ソフトウェア
iconCFD概要
この解析の場合、既存の検証によりVOF法を用いた計算よりも粒子+液膜モデルを用いた計算を行ったほうが計算時間・精度ともに良好な結果が得られることがわかっていました。そこで、粒子+液膜モデルをiconCFDに実装し、解析を実施しています。
この解析の場合、既存の検証によりVOF法を用いた計算よりも粒子+液膜モデルを用いた計算を行ったほうが計算時間・精度ともに良好な結果が得られることがわかっていました。そこで、粒子+液膜モデルをiconCFDに実装し、解析を実施しています。