解析モデル

論文をベースに、以下のようなモデルを作成しました。

境界条件

物理モデル

解析タイプ：非定常解析
ソルバータイプ：分離解法
基礎方程式：

• 連続の式
• ナビエ・ストークス式
  - 重力：考慮（-Z方向）
• エネルギーの輸送方程式
• 化学種の輸送方程式
  - 考慮する化学種：H2、SiCl3H、HCl
  - Diffusion off boundary: inlet
• 乱流モデル：層流
• 化学反応
  - substrate表面での各化学種の発生・消失を考慮

生膜反応

反応式：SiCl3H + H2 -> Si↓ + 3HCl
反応速度式：下記論文を参照

• 総括一次反応速度式

  

• 生膜速度

  

物性値

密度：理想気体の状態方程式
比熱：JANAF
粘度：kinetics Theoryモデル
熱伝導率：kinetics Theoryモデル
拡散係数：kinetics Theoryモデル

• Ficken Diffusion/li>
• 熱拡散効果：考慮・非考慮

解析結果