Micro Electro Mechanical System。超微小構造の電子機器システムを指します。例えば、センサ、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基板、ガラス基板、有機材料上に集積させたデバイスです。通常サイズの装置と比べて、微小構造ゆえに一般的に適用される単一支配原理では事象を表現し得ないことが多く、複数の支配原理を満足する連成解析が多く適用されます。